国产光刻机是当前市场最热的题材之一，而其中上海微电子（上海微电子装备）公司的国产光刻机最受关注！请问贵公司有向上海微电子供货光刻机相关精密零部件吗？多谢回复！

　　投资者：您好，清华大学发布的最新研究成果，针对euv光刻机和加速器方面，公司是否有与清华展开相关方面的合作

　　投资者：在半导体领域，公司目前间接供货了ASML，并对海力士和三星提供半导体维修服务，请问这个维修主要是针对半导体的哪些设备呢？另外公司拟收购的冠鸿智能在半导体领域涉及到哪些方面呢？谢谢

　　华亚智能董秘：您好!公司目前的主要维修业务是真空阀门维修，用在相应客户的PVD /CVD /DIFF /ETCH 等主机台设备上。拟收购公司的业务情况及应用领域请参见已披露及后续披露公告。谢谢!

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